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侯忆在2008中国电子技术年会发言

  这个方式还是用了RHU的方式,他们对于洁净室的要求很高,他们的空气处理量相对比较少,他们也是有了FFU,就是单密度空气,通过FFU处理完,送到洁净室,洁净室再通过地板回到下加层,是这么一个循环过程。如果级别提高的话,那么这个可以更成熟。 那么,针对目前我们比较流行的节能减排的提倡,...

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